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Reinraumreinigung: 100 % Präzision

In der Welt der Mikroelektronik, wo winzige Bauteile die Grundlage zukunftsfähiger Innovationen bilden, ist Präzision alles. In dieser anspruchsvollen Umgebung spielen Reinräume eine unverzichtbare Rolle. Sie bieten eine kontrollierte, nahezu kontaminationsfreie Produktionsumgebung für die empfindlichen Prozesse der Halbleiterfertigung. Damit alles steril bleibt, sorgen Teams von Leadec für die Reinraumreinigung.

In der Hightech-Welt der Chipherstellung geht es um Präzision im Nanometerbereich. Winzige Partikel wie Staub, Fasern und Hautschuppen auf den Bauteilen erscheinen zunächst harmlos, können die empfindlichen Strukturen der Halbleiterbauelemente allerdings massiv beeinträchtigen, zu kostspieligen Produktionsausfällen oder mangelhaften Chips führen. Daher benötigen diese sensiblen Elemente eine entsprechende Umgebung in speziellen Reinräumen: frei von Staub, elektrostatischer Ladung und Feuchtigkeit.
 

Wie sieht ein Reinraum aus?

Reinräume sind abgeschlossene Einheiten – seien es komplette Gebäude, einzelne Kammern oder Reinraumzelte innerhalb eines größeren Raums. Im Inneren des Reinraums gewährleistet eine entsprechende Reinraumtechnologie die Einhaltung von benötigten Umgebungsanforderungen: Lüftungs- und Klimasysteme kontrollieren Druckluftbedingungen und halten Raumtemperaturen stabil; in Wände oder Decken integrierte Reinraumleuchten sorgen für entsprechende Lichtverhältnisse. „Doch nicht nur die Einrichtung stellt eine Herausforderung für die Produzenten dar, auch die Reinigung und Wartung eines Reinraums und der dazugehörigen Technik sind von zentraler Bedeutung“, sagt Dana Nikolaj, Business Director Semiconductor bei Leadec, „und hier kommt Leadec ins Spiel.“
 

Sterile Oberflächen und partikelarme Luft

Um den Reinraum dauerhaft sauber zu halten, braucht es ein maßgeschneidertes Reinigungskonzept. Dazu zählt auch, sich bei der Einrichtung bereits auf nur die absolut notwendigen Objekte im Reinraum zu konzentrieren, möglichst fugenlose und rissfeste Verkleidung zu verbauen und abriebfeste Materialien einzusetzen. Die Kombination aus Trockenreinigung – zum Beispiel mit antistatischen Tüchern, Feuchtreinigung und Desinfektion hilft dabei, mikrobielle Verunreinigungen zu reduzieren und eine nahezu sterile Umgebung zu gewährleisten.
 

Disziplin und Schutzkleidung beim Menschen

Dana Nikolaj weiß jedoch auch: „Neben den Anlagen, Materialien und Maschinen im Reinraum stellt der Mensch die größte Kontaminationsgefahr dar. Deshalb gelten strenge Hygienevorschriften und die Verwendung steriler Reinraumkleidung. Die Leadec-Teams kennen sich in diesem besonderen Fertigungsumfeld aus und arbeiten daher mit fusselfreien Reinraumtüchern. Von der Kopfhaube, verschiedenen Überziehern, einem Overall bis zum Netz für Kopf und Bart vollausgestattet, minimieren wir das Risiko der Einbringung von Partikeln.“
 

Qualitätssicherung mit Sensoren

Für eine lückenlose Qualitätssicherung der Arbeitsumgebung wird in Reinräumen modernste Sensortechnik eingesetzt. Die empfindlichen Geräte überwachen kontinuierlich die Partikelkonzentration, Luftströmung, Temperatur und Feuchtigkeit.
 

Nachhaltigkeit bei der Reinigung

Auch in der Reinraumreinigung spielt Nachhaltigkeit eine wichtige Rolle. Ressourcenschonende Reinigungsverfahren, der Einsatz biologisch abbaubarer Reinigungsmittel und die Verwendung von recycelten Materialien tragen dazu bei, die Umweltbelastung zu reduzieren.
 

Expertenwissen für sensible Bereiche

„Die Reinraumreinigung sowie das Arbeiten in der Halbleiterfertigung ist ein komplexes und anspruchsvolles Feld, das tiefgreifendes Fachwissen erfordert“, weiß Nikolaj und fügt hinzu: „Wir bei Leadec haben schon heute umfassende Erfahrung, welche Besonderheiten zu beachten sind, was die Reinigung von Reinräumen betrifft.“ Leadec ist in verschiedenen Produktionsstätten namhafter Hersteller aktiv. Neben der Reinraumreinigung erbringen die Teams vor Ort unter anderem vorbereitende Instandhaltungsmaßnahmen für die Anlagen und Medienversorgungen sowie Logistikleistungen innerhalb der Fab. Über den Bereich Automation & Engineering bietet Leadec Automatisierungslösungen für die Vernetzung einzelner Anlagen zur Medienversorgung (Gas- und Chemikalienversorgung) sowie weitere Lösungen innerhalb der Prozessautomatisierung bis hin zur kompletten Lieferung und Konfiguration von Prozessleitsystemen an.


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